容易冷凝且會形成多孔性結構的氣體凝固 層作為陷阱。例：Ar、CH4、CO2、NH3。

  • 與吸附幫浦的吸附原理完全相同，主要是 要吸附氖、氦、氫這一些小分子，並配合 冷凝抽氣來使用。

  •冷凍幫浦的冷凍板在幫浦運作的時後，會 逐漸被冷凍的固態氣體所掩蓋。 •通常只要將幫浦停機使其回至室溫，再利 用前段幫浦將解凍的氣態氣體及活性碳吸 附的氣體抽除，再用乾燥的氮氣通入把污 染物排出即可。 •必要可以加溫，但不能太高，一般為70℃。

  用途：潔淨之真空系統粗抽。 特點：物理或化學吸附、不會潮解、在高溫時可將 吸附的氣體釋出再生。

  • 當幫浦吸附足量的氣體後，即不再有吸附 功能。 • 當回到室溫下大部分的氣體均可排出，唯 獨水氣難以驅出，因此使用加熱帶纏繞加 溫。

  陳建人，真空技術與應用，行政院國家科學 委員會，精密儀器發展中心出版 呂登復 編著，實用真空技術，國興出版社

  壓力範圍：10-4 ～10-11 mbar 用途：高真空或超高真空抽氣使用 特點：乾淨、無油氣污染，前級搭配乾式幫浦最為 理想。

  注意：一些需要加高溫才能清除的汙染物或一些有 機物難以清除，不適合用於可能產生污染的 真空系統。